真空系統用泵的選(xuan)擇(ze)方法(fa)？

真空(kong)系(xi)統是由真空(kong)泵、PLC程序控制系(xi)統、儲氣(qi)罐、真空(kong)管道、真空(kong)閥門、境外過(guo)濾(lv)總成等組(zu)成的成套(tao)

真空系統(tong)。目前(qian)，該系統(tong)廣(guang)泛應用于電子半導體業、光電背光模(mo)組(zu)、機械(xie)加(jia)工等行業。

例(li)如有(you)一系(xi)統用羅(luo)茨真空泵機(ji)組抽(chou)氣，要求在1 mbar入口(kou)壓(ya)力時有(you)600升/秒的抽(chou)速，并長期工作，問(wen)

應選擇多大抽速的(de)前級泵(beng)。

先假定用30升/秒的前級(ji)泵時，壓縮比K=600：30=20得出K=20時zui大排出壓力(li)為30 mbar。

由此(ci)得出，當選用30升/秒前級(ji)泵時，在入口壓力低于(yu)(yu)1.5 mbar以下工作(zuo)是可行(xing)的，但(dan)高(gao)于(yu)(yu)1.5 mbar

入口壓力(li)工(gong)作(zuo)時就選(xuan)用(yong)大(da)一(yi)些前(qian)級泵了(le)。該例中，工(gong)作(zuo)真空度1 mbar低于(yu)1.5 mbar，所以30升/秒的(de)

前級(ji)泵可以(yi)滿足上述真空系統(tong)的抽氣要求(qiu)。

另外應(ying)當考慮(lv)的(de)是，對(dui)預抽時(shi)(shi)間的(de)要求問題，如果(guo)正常工(gong)作時(shi)(shi)間遠比預抽時(shi)(shi)間長(chang)，可(ke)選較(jiao)小的(de)前級(ji)泵(beng);

假如真空室較(jiao)大，而(er)且要(yao)求很快預抽，就(jiu)要(yao)用較(jiao)大的(de)(de)前級泵，有時(shi)為(wei)了更好發揮設備的(de)(de)效(xiao)率(lv)，機組裝

有較大的預抽泵，在正常工作(zuo)后停(ting)掉它，而用較小的前級(ji)泵維(wei)持(chi)，這樣做(zuo)是為了節約功(gong)率。

對(dui)羅茨真空泵(beng)機組的(de)極限壓力的(de)要求，也是選擇前級泵(beng)的(de)必(bi)須考慮的(de)，對(dui)極限真空度要求較高(gao)(達

1X10-3Pa～1X10-2 Pa壓力)一(yi)般(ban)選用雙級旋片式油封機(ji)(ji)械(xie)泵或雙級滑(hua)閥(fa)機(ji)(ji)械(xie)泵作為(wei)前級泵。極(ji)限真空

度要求在(1X10-2 Pa～1X10-1Pa)之(zhi)間可選用單(dan)級油封機械泵(beng)作為前級泵(beng)，極限真空度要求(qiu)在133～

1333Pa之(zhi)間可選用往復式真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)或液環式真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)作為(wei)前(qian)級泵(beng)。

當選用往復式或(huo)液環式粗真空泵(beng)(beng)作為(wei)羅茨(ci)真空泵(beng)(beng)的(de)前(qian)級泵(beng)(beng)時(shi)，前(qian)級泵(beng)(beng)的(de)抽速一般為(wei)羅茨(ci)真空泵(beng)(beng)的(de)1/2-

1/4，不能太大(da)，否則將使壓縮比過大(da)，造(zao)成羅茨真(zhen)空泵的(de)排氣溫度高而不能正常(chang)工作。

選(xuan)用前級泵(beng)時(shi)還必須考慮被抽氣體中是(shi)否有腐蝕性介質，是(shi)否含有可凝(ning)性氣體，是(shi)大量的(de)還是(shi)微量

的。如果含(han)有(you)(you)腐蝕性氣體(ti)，就不(bu)能選用油(you)封機(ji)械泵(beng)，油(you)封機(ji)械泵(beng)還不(bu)適宜抽除含(han)有(you)(you)大量(liang)可凝(ning)性蒸汽的(de)

氣體，否則(ze)將會使(shi)密(mi)封液很快乳化，抽除含有(you)微量可凝性蒸汽的(de)氣體時，也必須(xu)采用帶有(you)氣鎮裝(zhuang)置的(de)

油(you)封(feng)機械(xie)泵作為前級泵。

為(wei)(wei)了(le)獲得(de)在低(di)入(ru)口壓力(1~100pa)時的高的抽氣速率，可用(yong)一臺羅茨真空泵(beng)作為(wei)(wei)另(ling)一臺羅茨真空泵(beng)的

前級泵組成的(de)三級或四級機組，此時(shi)羅茨真空泵(beng)之(zhi)間的(de)抽速(su)比一般在2~5之(zhi)間。