系(xi)統應(ying)用(yong)中(zhong)，被(bei)抽取(qu)的(de)(de)氣(qi)體(ti)不單單包(bao)括(kuo)應(ying)用(yong)工藝(yi)中(zhong)產生的(de)(de)各種氣(qi)體(ti)，還包(bao)括(kuo)的(de)(de)系(xi)統中(zhong)原有的(de)(de)大氣(qi)空(kong)氣(qi)

等(deng)，那總體來說都有哪(na)些呢？

1、真空系統工藝過程中產生(sheng)的氣(qi)體

它包括工藝過(guo)程中材料放出的(de)(de)氣體(ti)(ti)(ti)以及工藝需要而(er)引入的(de)(de)氣體(ti)(ti)(ti)，同時真空系統中液體(ti)(ti)(ti)或(huo)固體(ti)(ti)(ti)蒸發(fa)的(de)(de)氣體(ti)(ti)(ti)

也包含其(qi)中。不同的(de)工(gong)藝過程以及不同的(de)被處理材料，這(zhe)部分(fen)氣體的(de)量的(de)計算(suan)都(dou)是不同的(de)。

2、真空系統內(nei)原本存在的大氣氣體

真空(kong)系統(tong)中真空(kong)容器室、真空(kong)管(guan)路等，這(zhe)些原本就含有(you)一(yi)定量(liang)的(de)大氣氣體(ti)成分，在(zai)抽氣初期，它(ta)們是(shi)真

空系統抽(chou)(chou)氣(qi)的主(zhu)要氣(qi)體(ti)負荷，也是(shi)被(bei)系統z*早抽(chou)(chou)走的。

3、真(zhen)空系統中的泄漏氣體

泄漏(lou)(lou)氣(qi)體(ti)(ti)包(bao)括大氣(qi)通(tong)過真空密封的(de)連接處以(yi)及各種漏(lou)(lou)隙(xi)通(tong)道(dao)泄漏(lou)(lou)進入(ru)真空系(xi)統內(nei)部的(de)氣(qi)體(ti)(ti)。對于確定的(de)

真空(kong)(kong)系統來說，泄(xie)漏(lou)的(de)氣(qi)體(ti)量(liang)是一個(ge)常數。不(bu)同的(de)真空(kong)(kong)系統應(ying)用、不(bu)同的(de)極限壓力，對泄(xie)漏(lou)氣(qi)體(ti)的(de)量(liang)也

有嚴格的限制。

4、真空系統(tong)中各種材料表面(mian)解(jie)吸(xi)釋放出來(lai)的氣體(ti)

常(chang)壓下(xia)，真空系統中的(de)材料表面會吸附、溶解(jie)部分氣(qi)體(ti)。在負壓狀(zhuang)態下(xia)，這部分氣(qi)體(ti)會被重新釋放出(chu)

來。它的(de)放(fang)氣流量與材料性能(neng)、處(chu)理工藝以及材料表面狀(zhuang)態(tai)有關。

5、真空系統外大(da)氣通過器(qi)壁(bi)材料滲(shen)透到系統內(nei)的氣體。

氣(qi)體(ti)在固(gu)體(ti)中(zhong)也會發生溶解、滲透。因此大氣(qi)通過容器壁結構材料會向真空系統內滲透部分氣(qi)體(ti)。這種

滲透在(zai)一般的金(jin)屬(shu)系統下可以不考慮，但部分應用在(zai)玻璃真空系統或薄壁金(jin)屬(shu)系統會需要考慮滲透氣體

帶來的影響。

以上5個方(fang)面就構成(cheng)了真(zhen)空系統的總的抽氣負荷(he)。