質譜真空泵的保養方法(fa)

質譜真空泵必須由接受過適當培訓的技術員來維(wei)護，確(que)認該技術員對(dui)泵油及系統的產物(wu)十分熟悉，做

維護(hu)之前必須將泵停下(xia)，降到(dao)安全(quan)的溫度，斷開泵及其(qi)他元件與(yu)電路(lu)的連(lian)接(jie)，以避免發(fa)生意外。維護(hu)

完畢(bi)，在沒接上(shang)電(dian)源之前，重(zhong)新檢查(cha)一下泵的旋(xuan)轉方向。O型圈和(he)墊圈如果損壞不可(ke)重(zhong)復利用(yong)。

在運轉(zhuan)過程中，質(zhi)譜真(zhen)空泵(beng)和油會受到化學品的污染。所以，應確認泵(beng)是否清洗干凈(jing)，并采(cai)取足夠的

措施(shi)防止(zhi)這些有害物質對人員(yuan)的傷害，維護完畢后，應檢查(cha)是否(fou)有泄(xie)露的地方，如有，應重新密封。

不(bu)要接觸或(huo)吸入泵受高溫(wen)(260℃)產(chan)生的熱降解的產(chan)物，它們是很危(wei)險的，包(bao)括油、油脂和(he)真空(kong)脂。

檢(jian)查前置真空泵油位：

根據需(xu)要(yao)，可以(yi)在泵運(yun)轉的時(shi)候(hou)檢查油位，但如果要(yao)往里加油時(shi)則需(xu)斷(duan)開前置真空泵及相關部(bu)件與(yu)電

源的連接。

1.透過前置真(zhen)空泵的可視窗口檢查(cha)油(you)位(wei)是否(fou)在z*低(di)限以上，z*高限以下。

2.如(ru)果(guo)油位在z*低(di)限(xian)或(huo)低(di)于z*低(di)限(xian)，打開(kai)加(jia)油孔，加(jia)油至z*高限(xian)，如(ru)加(jia)得過(guo)滿可(ke)從出口放掉點(dian)。

3.如果油(you)污(wu)染嚴重(zhong)時，放掉受(shou)污(wu)染的(de)油(you)，清(qing)洗(xi)泵(beng)后加入干凈的(de)油(you)。

更換前置真空泵油：

1.開啟泵運轉10分(fen)鐘(zhong)以加(jia)熱泵油(you)，然后關泵(油(you)加(jia)熱后可降(jiang)低其粘性(xing)，比較容易(yi)倒出(chu)來(lai))。

2.斷開泵和(he)電路及真空系統的連接。

3.取下(xia)加(jia)油孔的塞子。

4.將泵放在(zai)一(yi)個適當的(de)支撐(cheng)物(如(ru)：凳子(zi))上(shang)以方便泵的(de)傾(qing)斜，在(zai)排(pai)油口(kou)下(xia)放合適的(de)容器。取下(xia)排(pai)油口(kou)

的(de)塞子，讓油在重力的(de)作(zuo)用(yong)下(xia)流到容器中。

5.油受到污染時：

5.1取(qu)下(xia)加油(you)(you)孔(kong)的(de)塞子(zi)，倒進(jin)干凈的(de)油(you)(you)。

5.2重新連上泵和電(dian)路的連接(jie)，開(kai)泵運轉(zhuan)5-10分鐘(zhong)。

5.3斷開泵(beng)和電路的連接(jie)，取下排油口的塞子，讓油流出來。

5.4重復上述步(bu)驟(zou)直到將(jiang)泵清洗干凈(jing)。

6.塞(sai)上排油口的(de)塞(sai)子，移掉支撐物，重新(xin)接上泵和(he)電(dian)路及(ji)真空系統的(de)連接 。

7.裝上(shang)新油(you)，直(zhi)到油(you)位達(da)到MAX位置附近。

8.等幾分鐘直到油抽到泵中，需要的(de)話，可再(zai)添(tian)油(需再(zai)關泵)。塞(sai)上(shang)加(jia)油孔的(de)塞(sai)子。

檢查和清(qing)潔(jie)前置真空泵入口過(guo)濾器

1.旋開入(ru)口(kou)轉接(jie)器(qi)，取下‘O’ ring，彈(dan)性擋(dang)圈(quan)和入(ru)口(kou)過濾器(qi)。

2.用適當的溶液清洗入口(kou)過濾(lv)器(qi)，陰(yin)干入口(kou)過濾(lv)器(qi)。

3.重新(xin)裝上入(ru)口過濾器、彈性擋圈、‘O’ring和入(ru)口轉接器。

清潔前(qian)置(zhi)真空泵載(zai)氣濾網(wang)：

1.取下固定墊圈。

2.取下金屬(shu)絲網(wang)及(ji)濾頭(tou)元件(jian)。

3.用合適(shi)的(de)溶劑(ji)清(qing)洗金屬絲網及濾頭元(yuan)件(jian)，陰干(gan)后(hou)重新裝在泵(beng)上。

4.重新(xin)固定好固定墊圈。

清洗馬達風扇周圍：

1.關掉(diao)真空泵，斷開其與電(dian)源的連接。

2.利用干(gan)的(de)布或毛(mao)刷清除電動機的(de)風扇罩和圍欄的(de)污染物。

注意:

如果電動機的(de)(de)風(feng)扇(shan)罩及周圍不保持干凈的(de)(de)話，進入馬達的(de)(de)氣流將受到限(xian)制從(cong)而導致泵過熱(re)。