質譜分析儀一(yi)般選用(yong)(yong)的真空泵(beng)是愛德華 E2M0.7、E2M1.5 這2款(kuan)型號，真空泵(beng)使用(yong)(yong)到一(yi)定的時間要(yao)

做(zuo)保養與維(wei)修(xiu)。真空泵維(wei)修(xiu)必(bi)須由接受過(guo)適當培(pei)訓的(de)技術(shu)員來維(wei)護，確認該技術(shu)員對泵油(you)及系統的(de)

產(chan)物十(shi)分熟悉，做維護之前必須將泵(beng)停下(xia)，降到(dao)安全的溫度(du)，斷(duan)開泵(beng)及其他元件(jian)與電路(lu)的連接，以(yi)

避(bi)免發(fa)生意(yi)外。維護完畢，在(zai)沒接上電源之前，重新檢查一(yi)下(xia)泵的旋轉(zhuan)方向(xiang)。O型圈和墊圈如果損

壞不可重復利用。

在運轉(zhuan)過程中，質譜真空泵(beng)和(he)油會(hui)受(shou)到化學品的污染。所以，應確認泵(beng)是否清洗(xi)干凈(jing)，并采取足夠

的(de)措施(shi)防止(zhi)這(zhe)些有(you)(you)害物質對人員的(de)傷害，維護(hu)完(wan)畢后，應檢查是否(fou)有(you)(you)泄露(lu)的(de)地方，如有(you)(you)，應重新密

封(feng)。不(bu)要接觸或吸入泵受高溫(260℃)產生的(de)熱降解的(de)產物，它們(men)是很危險的(de)，包括油、油脂和真

空脂。

檢查前置(zhi)真空(kong)泵油位：

根據(ju)需要(yao)，可以在泵運轉的時(shi)候檢查油位(wei)，但如果要(yao)往里加油時(shi)則需斷(duan)開前置(zhi)真空泵及相(xiang)關(guan)部件與

電源的連接。

1.透過前置真空(kong)泵的(de)可(ke)視(shi)窗口檢查(cha)油位(wei)是否在z*低限以上，z*高(gao)限以下。

2.如(ru)果油位(wei)在z*低限(xian)或低于z*低限(xian)，打開(kai)加(jia)油孔(kong)，加(jia)油至z*高(gao)限(xian)，如(ru)加(jia)得過滿(man)可從出口放掉點。

3.如(ru)果油污染嚴重(zhong)時，放掉受污染的油，清(qing)洗泵后加入干(gan)凈的油。

更(geng)換前置真空泵油(you)：

1.開啟泵(beng)運轉10分鐘以加熱泵(beng)油，然后關泵(beng)(油加熱后可(ke)降低其粘性，比較容易倒(dao)出來(lai))。

2.斷(duan)開(kai)泵和(he)電路及真空系(xi)統的連(lian)接。

3.取下加油孔的塞子。

4.將泵放在一個適當的(de)支撐物(如：凳子)上(shang)以方便泵的(de)傾斜(xie)，在排油口下(xia)放合(he)適的(de)容器。取下(xia)排油

口的塞子，讓油在重力的作用下(xia)流到容器中。

5.油受到污染時：

5.1取下加油孔的(de)塞(sai)子(zi)，倒進(jin)干凈的(de)油。

5.2重新連上(shang)泵和電路的連接，開泵運轉5-10分(fen)鐘。

5.3斷開泵和電路的(de)連接，取(qu)下排油(you)口(kou)的(de)塞(sai)子(zi)，讓(rang)油(you)流出來(lai)。

5.4重(zhong)復(fu)上述步驟直到將(jiang)泵清(qing)洗(xi)干凈。

6.塞上(shang)排油口的(de)塞子，移掉支撐物，重新接(jie)上(shang)泵和電路及真空(kong)系(xi)統的(de)連接(jie) 。

7.裝上新油，直到(dao)油位達(da)到(dao)MAX位置附近。

8.等幾分鐘直到油抽到泵中，需要的話，可再添油(需再關泵)。塞(sai)上加油孔的塞(sai)子。

檢查(cha)和清潔前(qian)置真空泵入(ru)口過(guo)濾器(qi)

1.旋開(kai)入(ru)口轉接器(qi)，取下‘O’ ring，彈性擋圈和入(ru)口過濾器(qi)。

2.用(yong)適當的溶液清洗(xi)入口(kou)(kou)過濾(lv)器，陰干入口(kou)(kou)過濾(lv)器。

3.重(zhong)新裝上入(ru)口過濾器(qi)、彈性擋圈、‘O’ring和(he)入(ru)口轉(zhuan)接(jie)器(qi)。

清潔前置真空泵載氣濾網(wang)：

1.取下固定墊圈(quan)。

2.取下金屬絲網及濾頭元(yuan)件。

3.用合(he)適的溶劑清洗金屬絲網及濾頭元件(jian)，陰干(gan)后重新裝(zhuang)在泵上(shang)。

4.重(zhong)新固(gu)定(ding)好固(gu)定(ding)墊圈。

清(qing)洗馬達風扇周圍：

1.關掉真空泵，斷開其與電源的(de)連(lian)接。

2.利用干(gan)的布或毛刷(shua)清除電動(dong)機的風扇罩和圍欄的污染物。

注意:

如果電動機的風扇罩及周圍不(bu)保持干凈(jing)的話(hua)，進(jin)入(ru)馬達(da)的氣流將受到限制(zhi)從而(er)導致泵過熱。