無油干式真空泵的工作原理和應用
應用范圍：
的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：
[1]低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
[2]半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕 性氣體和研磨微粒；
[3]除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要 求；
[4]在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
[5]用做一般無油清潔真空系統的前級 泵，以防止油污染。
工作原理：
      又(you)名(ming)【干式(shi)機械泵】，意思是(shi)指泵能(neng)(neng)從大(da)氣(qi)壓力(li)下(xia)(xia)開始抽氣(qi)，又(you)能(neng)(neng)將被(bei)抽氣(qi)體(ti)直接排到(dao)大(da)氣(qi)中去，泵腔內無油或(huo)其(qi)(qi)他(ta)工(gong)作介質(zhi)，而且泵的(de)(de)(de)(de)極(ji)限(xian)壓力(li)與油封式(shi)真(zhen)空泵同(tong)等量級或(huo)者接近(jin)的(de)(de)(de)(de)機械真(zhen)空泵。目(mu)前，真(zhen)空行業(ye)使(shi)用(yong)(yong)的(de)(de)(de)(de)大(da)多數機械真(zhen)空泵都是(shi)用(yong)(yong)油、水或(huo)其(qi)(qi)它聚合物(wu)等流(liu)(liu)(liu)體(ti)充(chong)當泵的(de)(de)(de)(de)工(gong)作介質(zhi)，在泵內起(qi)冷卻、密封、潤滑(hua)等多種作用(yong)(yong)。隨著科(ke)學技術(shu)的(de)(de)(de)(de)發展(zhan)以及真(zhen)空應用(yong)(yong)領域的(de)(de)(de)(de)擴大(da)，原有(you)的(de)(de)(de)(de)機械真(zhen)空泵及其(qi)(qi)組成的(de)(de)(de)(de)抽氣(qi)系統出(chu)現了兩個急需解決問題(ti)：一是(shi)泵的(de)(de)(de)(de)工(gong)作介質(zhi)返(fan)流(liu)(liu)(liu)污染被(bei)抽容器，而這種返(fan)流(liu)(liu)(liu)在許多情況下(xia)(xia)影響產品的(de)(de)(de)(de)質(zhi)量、數量，增(zeng)加設備(bei)的(de)(de)(de)(de)維護成本。其(qi)(qi)次，由于(yu)某些工(gong)藝過程中的(de)(de)(de)(de)反應物(wu)質(zhi)使(shi)真(zhen)空泵內的(de)(de)(de)(de)介質(zhi)嚴重變質(zhi)，使(shi)泵不能(neng)(neng)正常工(gong)作。