ULVAC干式(shi)真空泵NRL180A卡死維修

愛(ai)發科NRL180A干式螺桿真空(kong)泵一般用于排出非活性(xing)氣(qi)體（濺射(she)鍍(du)(du)膜、蒸氣(qi)鍍(du)(du)膜、熱(re)處

理、液晶注入等），排(pai)出非活性氣體行業對泵(beng)的腐蝕性很大(da)，大(da)多(duo)數真空泵(beng)都是因(yin)為腐

蝕后(hou)轉數慢，影(ying)響到生產效率，需要(yao)專業的廠家維修，東莞比其爾(er)真空(kong)承(cheng)接愛發科

NRL180A干(gan)式(shi)螺(luo)桿(gan)真空泵維修。

針對真空泵腐蝕的修(xiu)復方法：

*清(qing)(qing)除表面(mian)氧(yang)化層，用丙酮將表面(mian)清(qing)(qing)洗(xi)干凈。噴砂(sha)、打磨、涂防腐蝕涂層保護，專業

的安裝方式完工。

愛發科NRL系列在低溫領域下的均熱化，除PVD工(gong)藝外，龍其(qi)適用于希望提高流(liu)量，縮(suo)

短非氣時間的重(zhong)要工藝腔體的排氣。

愛發科真空泵NRL180A特點：

低噪音、低振動、*的(de)耐腐(fu)蝕性。

標準零部(bu)件采用高(gao)硬度并經(jing)過優異的防腐蝕(shi)特殊(shu)表(biao)面處理，降低(di)對府(fu)蝕(shi)性氣(qi)體排氣(qi)時泵

體內部的腐蝕程度。

隨泵(beng)配送選購件：

可選購消音(yin)器、冷(leng)卻水流量(liang)(liang)開關、氮氣(qi)流量(liang)(liang)開關、泵(beng)溫傳感器。

適用于行(xing)業：

活性(xing)氣體（CVD/刻蝕等）

排出非活(huo)性氣體（濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理(li)、液晶注(zhu)入等）

用于產生粉塵工藝中(zhong)的排氣（Si單(dan)品爐(lu)等）

可用前(qian)級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅(luo)茨泵的(de)前(qian)級泵）

冷(leng)凍干燥(zao)等水(shui)蒸(zheng)氣排氣。

真空泵(beng)維修(xiu)流程安排：

*、初步了解真空泵(beng)現狀

服(fu)務：如有需要，會在24小時內派出專業技術人(ren)員趕赴(fu)現場(chang)確認真(zhen)空泵故障(zhang)。

第二、確(que)定真空(kong)泵故障原因(yin)

服務(wu)：真(zhen)空泵確認了(le)解故(gu)障(zhang)原因后，擬定出(chu)具體維修方案與周期、甲乙(yi)雙方簽定協(xie)議

后，珠三角(jiao)地區甲方安(an)

排人員上門(men)提泵，其他區域客戶可以選擇物理快遞。

第三、真(zhen)空(kong)泵(beng)拆開報價(jia)

服(fu)務(wu)：為了讓客戶更(geng)清晰的知道維修(xiu)費(fei)用，比其爾會給出詳細的維修(xiu)清單及(ji)費(fei)用明(ming)細

第(di)四、確(que)認(ren)真空泵維修(xiu)

服務：客戶同意維(wei)修費用后開始維(wei)修，維(wei)修后所換配(pei)件全部(bu)還客戶。

第五、真空泵維修完畢后試機，一般測試時間是24小時。

服務：確保(bao)維(wei)修過后達到(dao)的真空度(du)和穩(wen)定性能，真空度(du)達到(dao)出廠標準。

第(di)六(liu)、配送(song)真空泵上(shang)門(men)安裝調試

服務：在(zai)試(shi)機OK后24小(xiao)時內(nei)，客戶可當初驗收真空泵，看試(shi)機運轉效(xiao)果。

第七、統一(yi)質(zhi)保修六個(ge)月(yue)，定期回(hui)訪、并提供免(mian)費技術支持。

服務：東(dong)莞(guan)比其爾維修過的每臺真空(kong)泵都會記入檔案，我們會定(ding)期根(gen)據后期使用情況做

出回(hui)訪工作。

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