半導體愛德華干式真空泵維修IH80/IH160

Edwards高(gao)級(ji)半導體真(zhen)空泵已經過現場應用證明(ming)，可以按(an)照高(gao)工作標準運行。通過延(yan)長使用壽

命、提(ti)高運行時間(jian)并提(ti)高生產率，同時減(jian)小占(zhan)地面積、降(jiang)低運行成(cheng)本，實現了可靠(kao)性(xing)(xing)和性(xing)(xing)能。

iH 系列為難(nan)以執行的制程(cheng)（如(ru)存在(zai)微粒、易冷凝(ning)和(he)腐(fu)蝕(shi)性副產品的 PECVD 和(he) LPCVD 制程(cheng)）提供

了高可靠性。

功能和優勢:

優化了設施消耗。

無需預防性維護。

懸臂軸和特殊的異型轉子(zi)便于顆(ke)粒的處理。

在(zai)節(jie)省(sheng)電機功率的同時提(ti)高了(le)工作(zuo)繁重的 CVD 應用(yong)條件下的穩定性(xing)。

耐腐(fu)蝕(shi)的制(zhi)造材(cai)料允許泵(beng)送腐(fu)蝕(shi)性(xing)氣體。

較高的(de)工作溫(wen)度為(wei)避免氣體冷凝提供(gong)了充分的(de)安(an)全保證。

整體式軸桿無需使用電(dian)機聯(lian)結器，而第(di)五級(ji)泵消(xiao)(xiao)除(chu)了使用消(xiao)(xiao)音器的需要并消(xiao)(xiao)除(chu)了顆粒堆積(ji)，從而降

低了總體占地面積。

技術參數：

極(ji)限真空1 x 10-2 mbar / 7.5 x 10-3 Torr  / 1 Pa

進氣口連接：ISO63

出口連接：NW40

重量：244 kg

極限功率輸入：3.1 kW

電機額定(ding)功率：5.0 kW

1、確認問題（如有需(xu)要(yao)，會(hui)在24小時內派(pai)出專業技(ji)術人員趕赴現場(chang)確認真空泵故障）

2、故障原(yuan)因（比(bi)其爾確認(ren)故障原(yuan)因后(hou)，擬(ni)定出(chu)具體(ti)維修(xiu)方(fang)案與周(zhou)期、甲乙兩方(fang)簽定協議(yi)后(hou)，甲方(fang)

安排人員上門提泵(beng)，針對珠三角地區客戶）

3、真空泵拆(chai)開報價（為了讓客(ke)戶更(geng)清(qing)晰的知道維修費用(yong)，比其爾會給出詳細的維修清(qing)單及費用(yong)）

4、確認維(wei)修（客戶同(tong)意維(wei)修費用后開始維(wei)修，維(wei)修配件為原(yuan)裝正品(pin)，維(wei)修后所換配件全部還客

戶）

5、試機(ji)確認(ren)（確保維修(xiu)過(guo)后達到的真空度(du)和穩定性能，真空度(du)達到出(chu)廠標(biao)準）

6、送泵安(an)裝（在(zai)試機OK后24小(xiao)時內，客戶可當初驗收真空泵，看試機運轉效果(guo)）

7、定期回訪（比(bi)其爾承諾，維(wei)修保修服務；統(tong)一質保修6個月(yue)）

半導體愛德華干式真空泵維修IH80/IH160