愛德華(hua)半導體真(zhen)空泵(beng)維修(xiu)EPX180L

新的(de)緊(jin)湊型(xing)EPX180L、 EPX500 高真空干泵的(de)特性是：工作性能(neng)更佳，運行成本更低。EPX500 EPX180L、使用

了(le)的保護機(ji)械裝置，能夠從(cong)大氣壓(ya)抽空到(dao)小(xiao)于 7 x 10-5 Torr 的極限壓(ya)力。

IPX 系(xi)列(lie)，可(ke)提(ti)供的性能，與 EPX 相(xiang)比，包裝重量輕了(le)(le) 20%、體積小了(le)(le) 30% 且功率降低了(le)(le) 40%。 

應用:

EPX 系列涵(han)蓋(gai)的應用(yong)，從(cong)水(shui)處理到中度工作負載(zai)的制程。

EPX“L”系列(lie)旨在用于泵送惰(duo)性氣體混合物（如負荷鎖定）且通(tong)過制程(cheng)機臺接口(kou)提供(gong)控制的清潔工作應用。

功能和優勢

緊湊的(de)占地面積 – 作為可(ke)用的(de)小工(gong)具(ju)上(shang)泵之一，EPX 節省了占地面積。EPX 可(ke)以直(zhi)接(jie)安裝到工(gong)具(ju)上(shang)，從(cong)而節省了前級

管道和安裝成本，如果需要(yao)也可遠程安裝。

低運行成本 - EPX 僅(jin)需要 1.4 kW 的功率(lv)和整合空(kong)閑模式，從(cong)而(er)可(ke)化功率(lv)效率(lv)。

的(de)保護機械裝置 – EPX 可(ke)以從大氣(qi)壓(ya)抽空到渦輪分(fen)子基(ji)準壓(ya)力，并可(ke)以在所有(you)進氣(qi)口(kou)壓(ya)力下連續工作。

超清潔機械裝置 – 傳統的(de)高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能(neng)成為制(zhi)程工(gong)具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油

脂，并且不存(cun)在任何其他(ta)的潛在污染源。

非常可靠EPX 基(ji)于經(jing)過現場驗證的 IPX 技術，具(ju)有 13 年(nian)的 MTBFp (SEMI E10)，大約每(mei) 5 年(nian)維修一(yi)次，程度地(di)延長了

泵的使用壽命。

可(ke)兼(jian)容的(de)(de)網(wang)絡 - EPX 系列配有終(zhong)用戶控制，可(ke)以(yi)連接到各種結(jie)構的(de)(de)網(wang)絡，以(yi)進行診斷監視和控制。 

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