愛(ai)德華(hua)EPX180L半(ban)導體真(zhen)空(kong)泵維修保養

新的緊湊型EPX180L、 EPX500 高真(zhen)空干泵的特(te)性是：工作性能更佳，運行成(cheng)本更低。EPX500 EPX180L、使用(yong)了的保

護(hu)機械裝置，能夠從大(da)氣壓抽空到(dao)小于 7 x 10-5 Torr 的(de)極限壓力。

IPX 系(xi)列，可提供的性能，與 EPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小(xiao)了 30% 且(qie)功率降低(di)了 40%。

應用:

EPX 系列涵蓋的應用，從水處理(li)到中(zhong)度工作(zuo)負(fu)載(zai)的制程。

EPX“L”系列(lie)旨在用(yong)于泵送(song)惰性(xing)氣(qi)體混合(he)物（如負荷鎖定）且通過制程(cheng)機臺接口提供控制的(de)清潔(jie)工作應用(yong)。

功能和優勢

緊湊的(de)占(zhan)地面(mian)積 – 作為可用的(de)小工(gong)(gong)具上泵之一，EPX 節省(sheng)了(le)占(zhan)地面(mian)積。EPX 可以(yi)直接(jie)安裝到工(gong)(gong)具上，從而節省(sheng)了(le)前級

道(dao)和(he)安裝成本，如(ru)果需要(yao)也可遠程安裝。

低(di)運(yun)行成本 - EPX 僅需(xu)要 1.4 kW 的功率和整合(he)空閑(xian)模式，從而可化(hua)功率效率。

的保護機械裝置 – EPX 可(ke)以(yi)從大氣壓(ya)(ya)抽空(kong)到渦輪分子基準壓(ya)(ya)力，并可(ke)以(yi)在所(suo)有(you)進氣口(kou)壓(ya)(ya)力下連續工作。

超(chao)清潔機(ji)械裝(zhuang)置 – 傳統的高真空(kong)軸承底(di)油(you)脂使(shi)用(yong)油(you)脂潤滑(hua)，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒(mei)有高真空(kong)軸承底(di)油(you)

脂(zhi)，并且不(bu)存在任何其他的潛在污染源。

非常可靠(kao)EPX 基于(yu)經過現場驗證的 IPX 技術(shu)，具有 13 年(nian)的 MTBFp (SEMI E10)，大約每 5 年(nian)維修(xiu)一次(ci)，程度地延長了(le)

泵的使用壽命。

可(ke)兼容(rong)的網(wang)(wang)絡 - EPX 系(xi)列(lie)配有終用戶控(kong)(kong)制(zhi)，可(ke)以(yi)連接到(dao)各(ge)種結(jie)構(gou)的網(wang)(wang)絡，以(yi)進行診斷監視和控(kong)(kong)制(zhi)。

愛德華真(zhen)空泵(beng)是半導體(ti)、平板(ban)顯示器、LED 和太陽能電(dian)池的(de)(de)制(zhi)造(zao)過(guo)程中(zhong)*的(de)(de)部分，應用(yong)于日(ri)益多范圍(wei)化的工業過

程，包括(kuo)電力、玻璃和(he)其他(ta)涂層應用、鋼和(he)其他(ta)冶金、制(zhi)藥和(he)化(hua)學(xue)(xue)；適(shi)用于科學(xue)(xue)儀器和(he)許多研發應用。

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延長質保.

服務(wu)細節:您一旦下(xia)訂單，我們將會與您商定安(an)裝日期。我們提(ti)供的(de)系統調(diao)試步驟(zou)包括(kuo)：正確組裝，全盤考慮所有必要的(de)

技術性能檢測（若適用）的管道連接根據現(xian)場供應情況安裝電(dian)氣設(she)備(bei)（包括傳感器(qi)和(he)控制(zhi)系統集成（若有））正確(que)加滿潤

滑油(you)（如(ru)有(you)需要）試(shi)運行，檢(jian)查并記錄輸出數據為操作(zuo)人員提供系(xi)統操作(zuo)培訓:指導檢(jian)測：公司擁有(you)進口(kou)檢(jian)測設備與(yu)專(zhuan)業技

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